羅茨風(fēng)機(jī)的優(yōu)點(diǎn)：

1. 在很寬的壓力范圍內(nèi)（10?10-2Torr），具有穩(wěn)定的大抽速，能迅速排出突然放出的氣體，彌補(bǔ)了油封機(jī)械泵和擴(kuò)散泵的不足，很適宜作機(jī)械增壓泵之用。在有水封或油封的情況下，能直排大氣抽真空，也適宜作大抽速的粗鼓風(fēng)機(jī)。

2.設(shè)計(jì)先進(jìn)，結(jié)構(gòu)合理，轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子與泵體間均有間隙，互不接觸，不用潤滑，摩擦損失小，可用較低的動力獲得較大的抽速，有顯著的節(jié)能效果。

3.轉(zhuǎn)子有良好的幾何對稱性，工作平穩(wěn)，能用提高轉(zhuǎn)速的辦法獲得大抽速，從而做到結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、重量輕。

4.泵腔內(nèi)不發(fā)生氣體壓縮，加之運(yùn)動件之間有間隙，對抽吸氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感，因此可抽出可凝性蒸汽。

5.泵腔內(nèi)運(yùn)動件無需用油潤滑，能避免油蒸汽對真空系統(tǒng)的污染，有利于獲得無油真空。

6.無需進(jìn)排氣閥，結(jié)構(gòu)簡單，噪聲較低，泵腔內(nèi)運(yùn)動件互不接觸，不易損壞，維護(hù)費(fèi)用低。

7.啟動快，能在短時間內(nèi)達(dá)到極限真空。

羅茨鼓風(fēng)機(jī)的缺點(diǎn)主要有：

1.由于轉(zhuǎn)子表面是形狀復(fù)雜的曲線柱面，對機(jī)械加工要求較高，檢驗(yàn)也較困難，在制造裝配上難度較大。

2.抽除氫氣的效果不如油增壓泵髙，返擴(kuò)散量大。